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百级洁净度、22℃恒温恒湿、微米级防微振……7月24日，坐落国家级实验室——九峰山实验室正南侧的武汉化合物半导体孵化及加快制作基地项目内，建造正酣，8月底将全体交给。
在修建施工范畴，芯片厂房被誉为“超级工程”，不只配套杂乱，并且洁净度远超手术室。作为九峰山实验室的要点配套项目，工期与质量开展要求近乎严苛。如何为芯片出产打造一座安全、精细的“超级工厂”？极目新闻记者现场看望。
夏至大暑，气温炽热。九龙湖街道上，12栋银灰色厂房纵向排开，犹如两条平行的键盘轨迹，科技感十足。走进园区，整齐有序：部分厂房已有企业出场调试设备，未交给区域施工整齐，互不搅扰。
“上下游企业盯着高标准配套，根本移送一层就入驻一层。”中冶南边项目负责人刘华伟介绍，4月以来，已有半导体设备、AI芯片研制、新能源车灯等企业入驻。
“简略来说，咱们便是给芯片出产造一个‘超级洁净间’。”刘华伟打了个比如，市民手机里那片薄薄的芯片，要通过拉晶、切开、光刻等上千道“微观塑形”，而这一系列操作，则需求一个“量身定制”的特别空间——22℃恒温恒湿、防微振、万/千/百级洁净度。
作为省、市、区三级要点项目，该基地总修建面积16.8万平方米，其间三分之二以上都用来打造千级、百级超净洁净室以及冷却、超纯水处理、大宗气体供给等配套设备，是九峰山实验室的严重配套工程。
通过鞋底粘尘、风淋室360度强风吹扫，气密门后一个通体洁白的厂区跃然眼前：墙面、地上、天花板满是白色，灯火柔软均匀，连呼吸声都分外明晰。
“这便是百级洁净厂房。”刘华伟说，所谓百级，即每立方英尺空间里0.5微米以上尘埃颗粒不超越100颗。“人在这儿打个喷嚏，洁净度瞬间就超支”。
超洁净环境是怎样做到的？刘华伟介绍，整个洁净体系依托MAU+FFU+DCC三重保证：新风体系构成内部正压隔绝脏空气，高效过滤机组循环除尘，DCC温控水管确定22℃恒温、45%恒湿。
记者垂头看脚下，地上不是一般的实心地上，而是一块块带孔的金属板。这种架空地板，一平方米能承重1吨，风从头顶吹下来，穿过地板孔排走，构成“上送下回”的气流途径，避免扬尘。此外，项目选址避开主干道，将外界振荡控制在微米级，避免精细光刻环节受扰。
洁净厂房背面有杂乱保证体系。园区动力站内，巨型不锈钢罐体与密布管道构成了芯片出产的“后勤中枢”。
“芯片‘喝’的水，比人喝的挑剔得多。”中冶南边技能负责人苏伟介绍，芯片出产必须用超纯水——要去除自来水中的硫、氯、钠、钾等杂质，只剩水分子，这套定制化水处理体系便是为此配套。
特种气体也是芯片出产的“口粮”。硅烷、氨气、高纯氮气等，气体纯度直接影响芯片良率。项目配套的大宗气体供给体系，可完成24小时安稳高纯运送。
提速不靠胡来，靠的是技能创新——施工中集成新式跳仓法、激光整相等多项工艺，地上平整度差错控制在每米2毫米内。
据悉，本年8月全体交给后，园区将集聚一批化合物半导体工业链上下游企业，加强完善光谷半导体工业生态，助力“中国芯”从光谷走向世界。